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產(chǎn)品中心
P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱無塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-09-16訪 問 量：2747
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無塵烤箱特點(diǎn)
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，優(yōu)良的溫度控制精度。
無塵烤箱應(yīng)用
用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
技術(shù)指標(biāo)
無塵等級：Class 100、10;
溫度范圍：RT+10～300℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm） （可定做）
電源：380v , 50Hz，6KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
維護(hù)保養(yǎng)
1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。
2． 風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。
3． 維修工檢查電流是否正常。
4． 檢查溫控器是否準(zhǔn)確，如不準(zhǔn)確，請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補(bǔ)償或傳感器修正值。
5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。
6． 檢查延時(shí)器是否準(zhǔn)確，誤差是否允許。
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