無塵烤箱的用途及維護(hù)保養(yǎng)方法

更新時(shí)間：2020-06-11

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　　無塵烤箱主要用于半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化鎵、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到佳溫度控制精度。

　　無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

　　無塵烤箱日保養(yǎng):

　　1.打掃設(shè)備表面及內(nèi)腔灰塵，保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。

　　2.檢查電流表是否正常，如有異樣，通知維修工檢修。

　　3.檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，有無聲音異常，如有請(qǐng)立即關(guān)閉機(jī)器并通知我司售后。

　　4.突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)。

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