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全氟癸基三氯硅烷氣相沉積系統(tǒng) FDTS鍍膜機(jī)是疏水二氧化硅的核心在于表面改性工藝。傳統(tǒng)二氧化硅因表面羥基導(dǎo)致親水性強(qiáng)，易吸附水分引發(fā)團(tuán)聚。采用硅烷偶聯(lián)劑（如KH550、FDTS、OTS）定向接枝疏水基團(tuán)后，接觸角從13.6°躍升至107.5°（改性納米SiO?數(shù)據(jù)），形成穩(wěn)定的納米分散結(jié)構(gòu)。

FDTS氣相沉積系統(tǒng) FDTS防粘真空鍍膜機(jī)用于在納米壓印光刻中在脫模期間降低表面粘附力。防粘層包括氟化硅烷(TFS)、十八烷基三氯硅烷(OTS)、聚苯并噁嗪、或氟癸基三氯硅烷(FDTS)

偶聯(lián)劑KH-550涂膠機(jī) 偶聯(lián) 劑氣相沉積系統(tǒng)將KH-550/570/HMDS等硅烷增粘劑氣相沉積在基底表面，從而增大產(chǎn)品表面接觸角，增強(qiáng)表面兩者之間的界面結(jié)合力。

疏水氣相沉積設(shè)備 超疏水處理系統(tǒng)應(yīng)用于納米壓印脫模工藝、硅烷偶聯(lián)劑鍍膜，增粘劑氣相沉積，脫模劑蒸鍍等工藝，Plasma等離子體氣相沉積系統(tǒng) 上一篇：無