半導體制造對潔凈度的要求近乎苛刻，任何微小的污染物都可能導致器件失效。恒歌憑借在過濾領(lǐng)域的技術(shù)積累，推出的微電子半導體過濾器、電子半導體過濾器等產(chǎn)品，以精準的過濾性能和穩(wěn)定的運行表現(xiàn)，成為半導體行業(yè)過濾需求的可靠之選。

產(chǎn)品優(yōu)勢

恒歌半導體行業(yè)過濾器從半導體制造的實際需求出發(fā)，在性能和適配性上展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢：

●?適配嚴苛環(huán)境：采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，賦予產(chǎn)品耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，完美契合半導體制造中高溫高壓的工藝環(huán)境，確保在復雜工況下長期穩(wěn)定運行。

●?精準攔截污染物：作為適用于半導體制造的先進過濾和分離解決方案，搭載先進的納米攔截功能，內(nèi)置 0.003-100 微米過濾器，能對不同尺寸的顆粒實現(xiàn)精準攔截，超高的顆粒攔截效率可有效降低污染物對生產(chǎn)的影響。

●?兼顧效率與成本：高通量、低阻力的設(shè)計讓流體在過濾過程中保持高效流通，避免因過濾環(huán)節(jié)拖慢生產(chǎn)節(jié)奏;同時，穩(wěn)定的過濾效果減少了因污染導致的返工和材料浪費，間接為企業(yè)節(jié)省成本。

關(guān)鍵性能與規(guī)格

恒歌半導體過濾器在規(guī)格和性能上嚴格對標半導體行業(yè)標準，具體參數(shù)如下：

●?材質(zhì)與耐受：整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕，適應(yīng)半導體制造復雜環(huán)境。

●?適用介質(zhì)：可適配多種工藝氣體，滿足半導體制造中不同氣體的過濾需求。

●?流通能力：高通量設(shè)計保證流體快速通過，低阻力特性減少能耗損失。

●?攔截精度：內(nèi)置 0.003-100 微米過濾器，超高顆粒攔截效率，精準清除微小污染物。

●?密封保障：經(jīng) 100% 氨氣檢漏測試，確保無泄漏風險，避免二次污染。

●?凈化效果：出口氣體各雜質(zhì)含量嚴格控制在 5ppb 以下，符合高純氣體使用標準。

●?靈活配置：支持兩閥、三閥、四閥等多種組件配置，適配不同系統(tǒng)安裝需求。

適配場景與優(yōu)勢

恒歌半導體行業(yè)過濾器可深度融入半導體制造全流程，在集成電路、數(shù)據(jù)存儲芯片、平板顯示面板及光伏電池等產(chǎn)品的生產(chǎn)中發(fā)揮重要作用：

●?在工藝氣體輸送環(huán)節(jié)，有效過濾氣體中的顆粒和雜質(zhì)，避免氣體污染導致的器件缺陷;

●?在高純流體處理場景，通過精準過濾減少流體中的污染物，保障清洗、蝕刻等工藝的效果;

●?憑借穩(wěn)定的性能，減少因過濾失效導致的停機維護，提升生產(chǎn)連續(xù)性。

無論是標準化需求還是定制化場景，恒歌微電子半導體過濾器都能提供適配的解決方案。如需了解產(chǎn)品詳情或定制方案，可隨時聯(lián)系咨詢。