工藝氣體專用過濾器_精準UHP超純氣流直通三通式過濾器
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
產品特點
? 整體316L不銹鋼結構
? 高通量、低阻力
? 超高顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝100%完整性測試
? 100%氨氣檢漏測試
T型過濾器
·聯(lián)合閥帽設計，更安全
·工作溫度:-28~+482℃
.工作壓力可達:414bar (6000psig)可選配底部旁通道，可用于取樣和清洗
技術參數(shù)
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 | ||
| 氦氣驗證泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦氣測試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應氣體 | 50°C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
||
| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
?過濾面積
| 過濾器類型 | 過濾面積規(guī)格 | 過濾面積mm2 | |
| 燒結式 | 濾網式 | ||
| T型 | 2 | 830 | 640 |
| 4 | 830 | 640 | |
| 8 | 1280 | 1090 | |
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