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外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱延片將所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10~30分鐘

  • 產(chǎn)品型號:JS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-09-17
  • 訪  問  量:1605
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產(chǎn)品詳情

外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱作用

   氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝,主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測處理等步驟。干燥處理是將清洗后的外延片放入烘箱中,進行干燥處理,以去除清洗液中的水分。將所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10~30分鐘。

氮氣是惰性氣體,不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應。在日常生產(chǎn)生活中,氮氣常作為氣源,且不與需要氣源的電器和氣動元器件產(chǎn)生氧化和腐蝕,既可杜絕細菌和噬菌體在元器件中滋生和污染,也可延長電器元器件和氣動元器件使用壽命。氮氣廣泛存在與大氣中,干燥潔凈且不含水,不含油,因此常作為干燥氣體使用。

  目前常用的外延片生產(chǎn)用氮氣干燥箱通常將送入的氣體通過過濾網(wǎng)過濾分散后送入干燥箱箱體內(nèi)部,進而對需要干燥的物體進行干燥。

外延片烘箱,氮氣潔凈烘箱性能要求:


溫度范圍:RT~200/300℃;
溫度均勻度:±1.5%℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;        

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)          

網(wǎng)板:2-4個 

可擴展功能:

氧濃度檢測,無塵無氧烘箱

智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動化軟件

掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

自動門控,上位機程控,機械手搬運產(chǎn)品



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