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掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-17訪 問 量：2163
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掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板
在集成電路制造領(lǐng)域，光刻技術(shù)被用來將圖案從包含電路設(shè)計信息的光刻掩膜版上轉(zhuǎn)移到晶圓(wafer)上，其中的光刻掩膜版(mask)，也稱為光刻版、掩膜版或者光罩，是一種對于曝光光線具有透光性的平板，其上具有對于曝光光線具有遮光性的至少一個幾何圖形，所述幾何圖形為設(shè)計圖形，可實現(xiàn)有選擇的遮擋照射到晶片表面光刻膠上的光，并最終在晶圓表面的光刻膠上形成相應(yīng)的圖案。
掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板技術(shù)參數(shù)
溫度分辨率 ：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻性：≤±1%℃
電源輸入：AC220V 10A
加熱功率：600/1500W......
控溫范圍：RT~200/300/400/500/600℃
頂蓋：SUS304不銹鋼
密封性：保證腔體溫度的穩(wěn)定性，頂蓋接口處密封處理
加熱面板材料：陽極鋁合金,度陶瓷面板，耐高溫不銹鋼
加熱區(qū)：
160*160
220*220
280*200
520*260等多尺寸，可定制
可定制：
分體式；
真空加熱臺；
頂針自動控制；
PIN孔+PIN；
氮氣保護......
恒溫熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。工業(yè)各行業(yè)恒溫加熱樣品的烘焙、干燥和作其他溫度試驗，是生物、遺傳、醫(yī)藥衛(wèi)生、環(huán)保、生化實驗室、分析室、教學研究的的工具
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