晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱概述

晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴(lài)度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強(qiáng)度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設(shè)計(jì)精良，且外形美觀(guān)、操作方便?？諝庋h(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風(fēng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達(dá)±1.5％，當(dāng)門(mén)開(kāi)、關(guān)動(dòng)作引起擾動(dòng)時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值。

用途

精密循環(huán)烤箱適用于烘烤有化學(xué)性氣體欲烘烤物品、基板應(yīng)力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應(yīng)力、老化、烘干、定型、加工等。

參數(shù)   

Ø  內(nèi)置強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部， 且將使用后熱風(fēng)吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內(nèi)的溫度均勻性，當(dāng)門(mén) 開(kāi)、關(guān)動(dòng)作 引起擾動(dòng)時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值，配置可調(diào)進(jìn)出氣口，風(fēng)路循環(huán)順暢，換氣快，避免可燃?xì)怏w的濃度過(guò)高造成自燃爆炸。   

Ø  馬達(dá)為中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口長(zhǎng)軸耐高溫型                         

Ø  超高溫保護(hù)：當(dāng)箱內(nèi)溫升異常時(shí)，自動(dòng)切斷整機(jī)電源。           

Ø  瓷質(zhì)保險(xiǎn)絲。           

Ø  馬達(dá)過(guò)熱保護(hù)：防止電機(jī)過(guò)熱造成電機(jī)損傷，           

Ø  相序保護(hù)：防止電力缺相和相序錯(cuò)誤，保證電機(jī)的安全。         

Ø  計(jì)時(shí)器，蜂鳴器提示，保證工作時(shí)間的準(zhǔn)確。